雷射共軛焦顯微鏡

台灣大學 機械系 精密製造中心

本儀器擁有光學顯微鏡的方便性,亦具備SEM與表面粗度儀之分析功能,搭配分析軟體可進行非接觸多樣化的量測功能,可進行2D及3D物件之特徵形狀與表面粗糙度量測。

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