1.表面分析(Surface survey)：樣品表面之成份分析。
2.表面化學組態分析(Narrow scan)：樣品表面之元素化學組態鍵結分析。
3.縱深分析(Depth Profile)：樣品表面以 Ar 離子濺蝕，分析不同深度的元素 成分及比例之縱深分布。
4.圖譜分析(Mapping)：檢測樣品表面分析區域的元素訊號，得到分析區域表面之元素分布影像圖。
5.線掃描(Line scan)：檢測樣品表面直線距離的元素訊號，得到直線距離表 面之元素分布圖。
6.角度解析分析(Angle-resolved Analysis)：檢測薄膜樣品在不同角度之表面 成份鍵結分析。(分析角度區間:0°~60°，角度間隔:10°)