雙面對準曝光機
光罩與晶圓對準曝光顯影
廠牌型號：
M&R Nano Technology Co. AG350-4N-D-V-S-H
購買日期：
2008年
加工精度及限制說明：
1.功率：200W
2.光束尺寸：4″ round
3.試片最大尺寸：4″
4.最小線寬：2µm
收費標準：
開機費:454元
額外加收13.61元/分
備註
1. 校外學術單位，基本收費 × 1.5
2. 校外營利單位，基本收費 × 3
設備照片：
關於服務提供單位
