射頻/直流濺鍍機

元智大學 機械系 奈微米共同實驗室

利用電漿對靶材進行離子轟擊，將靶材表面的原子以氣體分子形式發射出 來，並到達所要沉積的基板上形成薄膜。

設備照片：
射頻/直流濺鍍機
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元智大學 機械系 奈微米共同實驗室
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註冊日期：2016-04-08